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名称 光学投影曝光微纳加工技术 [电子资源]
索引号
分类号
(| 08 环境公报)
作者
出版社 , 2006
ISBN 7563916695
页数 285页
价格
标签 工艺、纳米、
简介
注解
书籍简介

本书系统介绍主流光刻技术——光学投影光刻的工作原理、系统组成、应用和发展前景，详细介绍投影光刻物镜、掩模硅片对准、激光定位工件台、分辨力增强技术以及整机集成。