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名称 聚焦离子束微纳加工技术 [电子资源]
索引号
分类号
(| 08 环境公报)
作者
出版社 , 2006
ISBN 7563916903
页数 344页
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标签 材料、
简介
注解
书籍简介

本书重点讲述聚焦离子束技术的原理；聚焦离子束系统的结构，包括离子源、离子光学柱体、图形发生器和精密工件台等；还探讨了聚焦离子束的有关关键技术。