微纳米技术近年来迅速发展，涉及领域越来越广泛，本书对维纳米技术的两大方面——电子系统的微型化和信息密集化，并侧重微纳米技术潜在应用前景进行了全面阐述，介绍了国外最新的微纳米技术的研究动态和发展趋势，对我国正在蓬勃兴起的微纳米技术研究和应用有很好的借鉴意义，本书的作者来自美国国家科学院、国家工程院和国家医学院的资深研究人员，读者对象为微纳米技术、微机电系统的科研人员、大学院校师生。