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名称 微波等离子体化学气相沉积金刚石膜 [电子资源]
索引号
分类号
(| 08 环境公报)
作者
出版社 , 2002
ISBN 780159245X
页数 195页
价格
标签 科学、
简介
注解 武汉理工大学材料亏新技术国家重点实验室出版基金和武汉市青年科技晨光计划资助:共分六章,介绍了金刚石的结构与主要性质,分析了化学气相沉积金刚石膜的机理和表征以及金刚石膜应用的关键问题。
书籍简介

《微波等离子体化学气相沉积金刚石膜》共分六章,介绍了金刚石的结构与主要性质,分析了化学气相沉积金刚石膜的机理和表征以及金刚石膜应用的关键问题。