本书系统地介绍了真空技术的基础理论、真空获得设备、真空测量仪表、检漏技术、真空系统设计的原理和方法。主要内容包括：稀薄气体分子运动理论、吸附与脱附、真空中的电现象、真空中的气体流动、真空泵的分类与性能、容积式真空泵、动量传递式真空泵、气体捕集式真空泵、真空测量、真空检漏、真空系统的组成、真空系统元件及连接、真空系统中常用材料和真空卫生、真空系统的设计计算等。本书既注重真空技术中的知识体系，又反映真空技术中的最新发展，具有很强的针对性和实用性。
本书可作为高等院校真空技术与设备、过程设备与控制工程、材料科学与工程、物理等相关专业本科生、研究生的学习教材，也可供真空技术应用、真空设备制造与使用单位的工程技术人员参考。

1 绪论2 稀薄气体分子运动理论3 吸附与脱附4 真空中的电现象5 真空中的气体流动6 真空泵的分类和性能7 容积式真空泵8 动量传递式真空泵9 气体捕集式真空泵10 真空测量11 真空检漏12 真空系统的组成13 真空系统元件及连接14 真空系统中常用材料和真空卫生15 真空系统的设计计算参考文献