名称 纳米压印技术
索引号 TN405.7/20121
分类号 TN405.7
TN405(制造工艺)
TN40(一般性问题)
TN4(微电子学、集成电路(IC))
TN(无线电电子学、电信技术)
T(工业技术)
作者 孙洪文、
出版社 北京 : 电子工业出版社, 2011
ISBN 978-7-121-12199-9
页数 Ⅺ, 190页 : 图 ; 23cm
价格 CNY36.00
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简介
注解 英文并列题名取自封面 有书目 (第174-190页) 本书详细介绍了纳米压印技术的工艺、原理、仿真、应用及发展前景。纳米压印技术是在纳米尺度获得复制结构的一种成本低而速度快的方法,它可以大批量重复性地在大面积衬底上制备纳米图案结构,而且所制出的高分辨率图案具有相当好的均匀性和重复性。 微电子、微纳加工人员、纳米技术人员及相关读者。
书籍简介

《纳米压印技术》详细介绍了纳米压印及相关技术的工艺、原理、仿真、应用和展望。纳米压印技术是在纳米尺度获得复制结构的一种成本低而速度快的方法,它可以大批量重复性地在大面积上制备纳米图案结构,而且所制出的高分辨率图案具有相当好的均匀性和重复性。《纳米压印技术》不仅可以供从事微电子、微纳加工、纳米技术的科技人员参考,也可供化学、生物、医学、光电子和磁学等领域的科研人员借鉴。同时,《纳米压印技术》深入浅出,通俗易懂,也具有一定的科普价值。