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名称 半导体器件TCAD设计与应用
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分类号
(| 08 环境公报)
作者 韩雁、丁扣宝、
出版社 北京 : 电子工业出版社, 2013
ISBN 978-7-121-19342-2
页数 276页 : 图 ; 26cm
价格 CNY45.00
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简介
注解 有书目 本书主要内容包括半导体工艺及器件仿真工具Sentaurus TCAD, 工艺仿真工具TSUPREM-4及器件仿真工具MEDICI, 工艺及器件仿真工具SILVACO-TCAD, 工艺及器件仿真工具ISE-TCAD, 工艺仿真工具 (DIOS) 的优化使用, 器件仿真工具 (DESSIS) 的模型分析等。
书籍简介

韩雁、丁扣宝编著的《半导体器件TCAD设计与应用(微电子与集成电路设计系列规划教材)》主要内容包括半导体工艺及器件仿真工具Sentaurus TCAD,工艺仿真工具TSUPREM-4及器件仿真工具MEDICI,工艺及器件仿真工具SILVACO-TCAD,工艺及器件仿真工具ISE-TCAD,工艺仿真工具(DIOS)的优化使用,器件仿真工具(DESSIS)的模型分析,片上(芯片级)ESD防护器件的性能评估,ESD防护器件关键参数的仿真,VDMOSFET的设计及仿真验证,IGBT的设计及仿真验证。本书配套多媒体电子课件。
《半导体器件TCAD设计与应用(微电子与集成电路设计系列规划教材)》不仅能帮助高等学校微电子学、电子科学与技术或其他相关专业的研究生、高年级本科生和企业设计人员掌握TCAD技术,而且也可以作为从事功率器件和集成电路片上ESD防护设计专业的科技工作者的重要参考资料。