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名称 微系统光学检测技术
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(| 08 环境公报)
作者 伏尔夫岗·奥斯腾 主编、王伯雄 译、
出版社 北京 : 机械工业出版社, 2014.02
ISBN 978-7-111-45837-1
页数 305页 ; 26cm
价格 CNY58.00
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简介
注解 微系统的尺度小，材料组合性强，功能多，对它的测量与检测构成了该领域新的挑战。本书内容丰富、覆盖面广，汇聚了各国知名大学共28位作者的卓越成果。书中将检测技术原理与众多应用实例相结合，介绍了微系统检测的应用光学技术，主要提供该领域中典型光学检测技术的全面回顾，包括光散射法、扫描探针显微技术、共焦显微技术、条纹投影技术、栅格和莫尔技术、干涉显微技术、激光多普勒测振技术、全息术、散斑测量术及光谱技术，同时还详述了上述技术相关数据的获取和处理方法。 微纳制造、微系统检测科技人员，高等院校相关师生