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名称 MEMS材料与工艺手册
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(| 08 环境公报)
作者 (美) 格迪斯 著、(美) 林斌彦 著、黄庆宏 译、
出版社 南京 : 东南大学出版社, 2014.06
ISBN 978-7-5641-4053-3
页数 966页 ; 24cm
价格 CNY198.00
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简介
注解 微机电系统(MEMS)技术是一个快速发展的前沿技术领域，使用的材料种类多、工艺方法复杂，需要系统地归纳、分析与整理，以便于读者查阅。本书内容包括MEMS材料，MEMS加工工艺和制造工艺，MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。 本书适合相关专业高年级本科生、研究生及工程科研技术人员阅读和参考