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名称 基于MEMS技术的硅脉象传感与检测系统的研究
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(| 08 环境公报)
作者 王璐、
出版社 哈尔滨 : 黑龙江大学出版社, 2013
ISBN 978-7-81129-500-9
页数 273页 : 图 ; 21cm
价格 CNY23.00
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简介
注解 有书目 (第258-271页) 本书采用MEMS技术、CMOS工艺和激光加工技术，设计并制作了硅杯和悬臂梁两种结构的以纳米硅/单晶硅异质结构为源极（S）和漏极（D）的MOSFETs脉象传感器。