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名称 半导体材料标准汇编 : 2014版. 基础、产品和管理标准分册
索引号
分类号
(| 08 环境公报)
作者 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 材料分会、中国标准出版社、
出版社 北京 : 中国标准出版社, 2014.11
ISBN 978-7-5066-7751-6
页数 702页 : 图 ; 30cm
价格 CNY230.00
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简介
注解 本书分上中下三册, 内容包括截止到2014年9月国内出版的半导体材料国家标准、行业标准文本以及SEMI和国外发布的半导体材料标准目录。其中上册为基础、产品和管理标准 (65项), 中册为国家方法标准 (75项), 下册为行业方法标准 (68项) 以及SEMI和国外相关标准目录。 本书可供半导体材料生产、制造及半导体材料检测等相关人员参考