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名称 MEMS和微系统 : 设计与制造 / (美) 徐泰然著 : design and manufacture
索引号 601677
分类号
(| 08 环境公报)
作者 徐泰然、王晓浩、
出版社 北京 : 机械工业出版社, 2004
ISBN 7-111-13226-2
页数 402页 : 图 ; 24cm
价格 CNY38.00
标签 mems、干一行爱一行、教科书、文献、机械、武功秘籍、绝世神功、
简介
注解 据美国McGraw-Hill Companies, Inc. 2002年英文版译出 由机械工业出版社和美国麦格劳-希尔教育(亚洲)出版公司合作出版 有书目 (第394-402页) 本书对Đ⁻Đ¿Đ⁻Đ₅技术的基础进行了深入的观察，介绍了微系统工程的发展、市场、产品，微系统所涉及的各工程学科的基础知识、尺度效应、材料、微制造加工及微系统的设计和封装等内容・
书籍简介

微系统近年来迅速发展，在航天、汽车、生物技术、消费产品、国防、环境保护和安全、保障、制药，以及远程通信工业等方面都有广泛的应用。本书对MEMS技术的基础进行了深入的观察，共分11章，介绍了微系统工程的发展，市场，产品，微系统所涉及的各工程学科的基础知识、尺度效应、微系统工程的材料、微制造和微加工工艺及微系统的设计和封装等内容。
本书可作为本科生或研究生课程的教材，还可以作为专业人士及相关人员了解MEMS参考书。