大拱桥--暨南大学学生门户 » 图书馆 » 微电机 » 微系统原理与技术
名称 微系统原理与技术
索引号 TM38/20051
分类号 TM38
TM38(微电机)
TM3(电机)
TM(电子技术)
T(工业技术)
作者 傅建中、胡旭晓、
出版社 北京 : 机械工业出版社, 2005
ISBN 7-111-15782-6
页数 223页 : 图 ; 24cm
价格 CNY26.00
标签
简介
注解 英文题名取自封面 有书目
书籍简介

本书系统阐述了微系统技术的基本概念、原理和特点；全面介绍了微系统设计技术、微系统制造技术、微系统检测技术、微系统集成与控制技术和典型微系统——芯片实验室技术等。