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名称 RF MEMS 应用指南
索引号 TM38/20061
分类号 TM38
TM38(微电机)
TM3(电机)
TM(电子技术)
T(工业技术)
作者 瓦拉达、 V. K.、文尼、 K.J.、乔斯、 K.A.、赵海松、邹江波、
出版社 北京 : 电子工业出版社, 2005
ISBN 7-121-01750-4
页数 300页 : 图 ; 26cm
价格 CNY35.00
标签 mems、rf、
简介
注解 本书简体中文专有翻译出版权由John Wiley&Sons,Ltd授权电子工业出版社. 有书目 (第298-300页)・ 本书主要内容包括：微机电系统和射频、MEMS材料和制造工艺、RF开关与微型继电器、MEMS电感和电容、微电机RF滤波器、微机械移相器等・
书籍简介

本书在系统讲述了MEMS的发展历史过程，主要设计方法和生产工艺之后，重点介绍了在微波、毫米波乃至亚毫米波频段，如何对MEMS中的三种基本结构形式一基础薄膜、基础桥和基础悬臂进行设计和制造；详细介绍了它们在射频开关、电感及可变电容、滤波器、移相器、微波传输线以及微机械天线中的应用。本书选用了近10年来发表的600余篇参考文献，全面反映了MEMS，RF MEMS在设计技术，制造技术和材料研制上的最新动态和成果。可以说，“RF MEMS AND THEIR APPLICAION”是一本内容新颖、全面，具有很高实用价值的参考书。