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名称 微电子机械系统
索引号 TH-39/20065
分类号 TH-39
TH-39(机电一体化)
TH(机械、仪表工业)
T(工业技术)
作者 姜岩峰、
出版社 北京 : 化学工业出版社, 2006
ISBN 7-5025-8158-8
页数 194页 : 图 ; 26cm
价格 CNY28.00
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简介
注解 有书目
书籍简介

本书介绍了微电子机械系统(MEMS)相关的基础知识、主要工艺和器件结
构等方面内容，对该领域的热点研究问题进行了探讨。主要内容分为五个部
分，首先讲述了MEMS的相关力学量测量方法，然后介绍了MEMS中的主要工艺
，在此基础上，系统介绍了MEMS系统中的传感器，包括传感器的原理、结构
和实现方法，另外对MEMS器件的使用方法和应用范围进行了讨论，最后阐述
了MEMS系统仿真方面的内容。
本书适合于高等院校微电子专业本科生或研究生教学参考使用，也可供
从事MEMS领域研究的科技人员参考。