MEMS是一项极具发展前景的军民两用高技术，具有巨大的市场和学科带动性，它的出现引发了一场新的技术革命。Coventor Ware是业界公认的具备SystemLevel和Co-Design功能的专业化MEMS设计软件。全书共分8章，全面系统地介绍了Coventor Ware软件的使用方法、应用技巧、仿真应用，以及在工程中使用Coventor Ware软件来进行预处理分析、微机电分析、力学分析和机电耦合求解器仿真的方法和技巧，并以微陀螺实例介绍了建模和系统级仿真的详细步骤和过程。内容详细具体，工程应用技巧性强。
本书适合机械电子专业教师、研究生、高年级本科生以及工程技术人员和科研人员学习参考。