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名称 VLSI planarization : methods, models, implementation
索引号 TN47/E993
分类号 TN47
TN47(大规模集成电路、超大规模集成电路)
TN4(微电子学、集成电路（IC）)
TN(无线电电子学、电信技术)
T(工业技术)
作者
出版社 Dordrecht ; Boston : Kluwer Academic, 1997.
ISBN
页数 vi, 184 p. : ill. ; 25 cm.
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简介
注解 Includes bibliographical references (p. 173-179) and index.