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名称 Gate dielectrics and MOS ULSIs : principles, technologies, and applications
索引号 TN47/E992
分类号 TN47
TN47(大规模集成电路、超大规模集成电路)
TN4(微电子学、集成电路（IC）)
TN(无线电电子学、电信技术)
T(工业技术)
作者
出版社 Berlin ; New York : Springer, c1997.
ISBN
页数 xiv, 352 p. : ill. ; 24 cm.
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简介
注解 Includes bibliographical references (p. 325-341) and index.