《微系统和纳米技术》可作为相关领域本科生、研究生和教师的教学参考书，并可供相关的科技人员参考。微系统和纳米技术，是微米纳米技术的两个重要组成，既有区别又有联系，是一个新兴的多学科交叉的科技领域。《微系统和纳米技术》南40多位国内外著名专家学者分章撰写，分为微系统和纳米科学技术基础、微系统技术、纳米技术、应用问题、发展和展望五个部分，共26章。全书统一规划，各章独立，由浅入深，图文并茂。收录众多在第一线耕耘的作者的科技成果和亲身体验是《微系统和纳米技术》的重要特点，书中还邀请了美、德、英、日和我国的权威专家畅谈他们数十年从事微系统研究的经验和对未来的展望，从科技发展的规律说明微米纳米科技发展的阶段性和成熟周期。