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名称 超大规模集成电路 : 基础·设计·制造工艺
索引号 TN47/20081
分类号 TN47
TN47(大规模集成电路、超大规模集成电路)
TN4(微电子学、集成电路(IC))
TN(无线电电子学、电信技术)
T(工业技术)
作者 岩田穆、角南英夫、彭军、
出版社 北京 : 科学出版社, 2008
ISBN 978-7-03-020278-9
页数 309页 : 图 ; 24cm
价格 CNY42.00
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简介
注解 据2006年日文版译出 有书目 (第300-309页)
书籍简介

《超大规模集成电路:基础•设计•制造工艺》共分为上下两篇,上篇为基础设计篇,主要介绍VLSI的特征及作用、VLSI的设计、逻辑电路、逻辑VLSI、半导体存储器、模拟VLSI、VLSI的设计法与构成法、VLSI的实验等;下篇为制造工艺篇,主要介绍集成工艺、平板印刷、刻蚀、氧化、不纯物导入、绝缘膜堆积、电极与配线等。