《薄膜物理与技术》为电子材料与元器件专业本科专业基础教材，也可供物理电子技术、半导体物理与器件、应用物理、敏感材料与传感器等专业的本科生和研究生，以及从事薄膜材料、薄膜物理、薄膜技术和电子材料与元器件、混合微电子技术等厂所的工程技术人员使用和参考。薄膜物理与薄膜技术均是正在发展的学科与技术，有关薄膜的性质，薄膜形成机理的某些内容还处于探讨中，薄膜技术也在不断发展与完善之中；因此，《薄膜物理与技术》只能着重介绍薄膜物理与薄膜技术的基本内容，不可能对这两大部分的广阔而丰富的内容作全面而详尽的论述。