《X射线荧光光谱仪》是“分析仪器使用与维护丛书”之一。《X射线荧光光谱仪》分十二章介绍了X射线荧光光谱分析的原理，仪器主要部件，定性与定量分析方法，基体校正与数据处理方法，样品制备技术，具有共性的仪器校正方法、日常维护知识和故障判断原则等。内容丰富、新颖、翔实，在探测器技术、基体校正、样品制备、仪器维护等章节具有特色。