| 名称 | Silicon nitride for microelectronic applications | |
| 索引号 | TN104/E802 | |
| 分类号 | TN104 TN104(电真空器件材料) TN10(一般性问题) TN1(真空电子技术) TN(无线电电子学、电信技术) T(工业技术) |
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| 作者 | Milek、 John T. (John Theophil)、 1915-、 | |
| 出版社 | New York : IFI/Plenum, 1971-72. | |
| ISBN | ||
| 页数 | 2 v. : illus. ; 28 cm. | |
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| 简介 | ||
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