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名称 微纳检测技术
索引号 TG806/20101
分类号 TG806
TG806(技术测量方法)
TG80(一般性问题)
TG8(公差与技术测量及机械量仪)
TG(金属学与金属工艺)
T(工业技术)
作者 胡小唐、
出版社 天津 : 天津大学出版社, 2009
ISBN 978-7-5618-2863-2
页数 222页 : 图 ; 26cm
价格 CNY26.00
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简介
注解 英文并列题名取自封面 有书目 (第217-222页) 本书系统地介绍了微纳检测领域常用的技术、方法及系统 (仪器) 。内容共分八章, 分别为微纳检测技术基础、光学干涉测试技术、微纳形貌检测技术、扫描探针显微镜等。
书籍简介

《普通高等教育"十一五"国家级规划教材•微纳检测技术》系统地介绍了微纳检测领域常用的技术、方法及系统（仪器）。《普通高等教育"十一五"国家级规划教材•微纳检测技术》共分8章，分别为微纳检测技术基础、光学干涉测试技术、微纳形貌检测技术、扫描探针显微镜、扫描电子显微镜、微纳坐标测量技术、微视觉测试技术和全息干涉技术。