为了适应薄膜材料与技术飞速发展的需要，并反映该领域最新的科技成果和态势，我们在多年教学、科学实践科学的基础上，参阅了国内外的有关文献资料，编写了本书。在简要地阐述有关薄膜的物理化学基础理论以及真空和低温等离子体技术的相关知识的基础上，重点介绍了功能薄膜、超硬薄膜等一些新型薄膜材料的结构、性能、作用机理以及用途等；分析了各种薄膜制备手段和材料表面改性技术的特点、原理和适用范围。最后，本书还扼要介绍了一些表面分析测试技术和特殊手段。

本书是“材料科学与工程研究生教学用书”之一，该书共发5章，它是在参照作者多年教学科学实践的基础上，简要地阐述了有关薄膜的物理化学基础理论以及真空和低温等离子体技术的相关知识的，并重点介绍了功能薄膜、超硬薄膜等一些新型薄膜材料的结构、性能、作用机理以及用途，分析了各种薄膜制备手段和材料表面改性技术的特点、原理和适用范围。另外，该书还在最后扼要介绍了一些表面分析测试技术和特殊手段。该书可供各大院校作为教材使用，也可供从事相关工作的人员参考阅读。