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名称 非晶硅锗薄膜PECVD法制备与特性研究 [硕士论文]
索引号 TN/M2010/12
分类号 TN/M2010
TN(无线电电子学、电信技术)
T(工业技术)
作者 邓兴汉 通信与信息系统、杨恢东、
出版社 广州 : 暨南大学, 2010
ISBN
页数 4, 63页 : 图 ; 29cm
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简介
注解 工学:通信与信息系统;暨南大学,2010-06-10 工学硕士 学位论文(硕士)