名称 微机电系统与设计
索引号 TN4/20111
分类号 TN4
TN4(微电子学、集成电路(IC))
TN(无线电电子学、电信技术)
T(工业技术)
作者 娄利飞
出版社 北京 : 电子工业出版社, 2010
ISBN 978-7-121-10808-2
页数 204页 : 图 ; 26cm
价格 CNY28.00
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简介
注解 有书目 (第203-204页) 本书共分8个章节,内容包括微机电系统概论、微机电系统的工作原理、微机电系统的相关制造技术、微机电系统设计中的工程力学和尺度效应等。
书籍简介

《微机电系统与设计》较全面、系统地介绍了微机电系统的相关技术,并给出了大量实例,尽量使用通俗易懂的语言,让刚接触微机电系统的读者能够全面地了解这门学科。作者参考了国内外大量的相关文献资料,在教学实践基础上,并结合在科研和工作中的体会,编写了这本教材。
《微机电系统与设计》共8章,第1章初识微机电系统,介绍了微机电系统的基本概念和特点、起源、与传统机械和微电子的关联及应用和发展现状。第2章阐述了用于传感或执行元件工作的基本机理,并介绍了一些典型的微传感器和微执行器。第3章讨论了用于微机电系统的多种材料。第4章描述了怎样制造微机电系统和器件,包括硅基微制造工艺、LIGA工艺和微细特种加工技术。第5章详细介绍了微机电系统的设计仿真、分级建模和MEMS CAD技术。第6章讲述了微机电系统设计和封装中相关的工程力学问题和尺度效应。第7章和第8章主要介绍微机电系统的封装和检测技术,主要包括微机电系统封装技术、典型检测工具、微结构材料特性检测技术、微结构性能检测技术等。