《微机电系统》是在教育部对研究生推荐教材《微机械与微细加工技术》的基础上，结合微机电系统领域最新的研究成果编著而成的。全书共分为六章，分别介绍了MEMS发展历程，MEMS理论基础，MEMS基本工艺技术，MEMS设计技术，典型微器件与微系统和微测试技术。在介绍微加工工艺方面，《微机电系统》结合大量工艺实例，易于学生理解，有助于提高其动手能力；对各种典型微机电器件的介绍，大部分来源于实验室的课题研究实例，内容充实新颖。
《微机电系统》可以作为高年级本科生和研究生学习微机电系统的教材使用，还可以作为工程技术等专业人员的参考手册。