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名称 超精密加工技术 [电子资源]
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分类号
(| 08 环境公报)
作者
出版社 , 2000
ISBN 7118021091
页数 380页
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简介
注解 本书内容包括超精密加工基础，超精密切削，超精密磨削，超精密研磨与抛光，特种加工，金属超精密加工实例，硬脆非金属材料的超精密加工，半导体基片的超精密加工等。