《微电子机械加工系统(MEMS)技术基础》还详细介绍了电学，热学和力学有限元方法的要领，相关软件的使用及硅片的加工处理方法。阅读《微电子机械加工系统(MEMS)技术基础》，可以为MEMS元件的设计和制造打下较好的基础，从而可以灵活应用所学知识。MEMS技术是21世纪发展的重大技术，涉及国防、航天、医疗等领域。《微电子机械加工系统(MEMS)技术基础》以各种微型阀、微型泵、微型马达、压电元器件的制造为目的，阐述其功能，所依据的物理原理及定律。
《微电子机械加工系统(MEMS)技术基础》可供国防、航天、医疗等专业的技术人员阅读，也可供大专院校有关专业师生参考。