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名称 Amorphous silicon carbide thin films : deposition, characterization, etching, and piezoresistive sensors applications
索引号 TN304.2/E20131
分类号 TN304.2
TN304.2(化合物半导体)
TN304(材料)
TN30(一般性问题)
TN3(半导体技术)
TN(无线电电子学、电信技术)
T(工业技术)
作者 Fraga、 Mariana Amorim.、
出版社 Hauppauge, N.Y. : Nova Science Publishers, c2011.
ISBN
页数 xii, 106 p. : ill. (some col.) ; 24 cm.
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