《微米纳米技术丛书•MEMS与微系统系列:聚合物微纳制造技术》总结了作者王立鼎、刘冲、徐征、李经民、刘军山等十年来在聚合物微纳制造方面的科研成果，并介绍了国内外在这方面最新研究成果和发展动态，力求全面反映聚合物微纳制造技术最新发展水平。阐述了聚合物微纳制造的各项关键技术，涵盖了聚合物材料特性、微纳成形工艺技术及设备、高能束刻蚀、封合连接技术及设备等，并对聚合物微纳技术典型应用情况进行了总结。目的是使读者能够切实和全面地了解聚合物微纳制造技术的原理和最新进展。