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名称 | 压电薄膜材料与器件制备技术 |
| 索引号 | TM22/20131 | |
| 分类号 | TM22 TM22(强性介质和压电介质) TM2(电工材料) TM(电子技术) T(工业技术) |
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| 作者 | 张涛、 | |
| 出版社 | 西安 : 西北工业大学出版社, 2012 | |
| ISBN | 978-7-5612-3480-8 | |
| 页数 | 191页 : 图 ; 23cm | |
| 价格 | CNY28.00 | |
| 标签 | ||
| 简介 | ||
| 注解 | 国防特色学术专著 学术专著·材料科学与工程 有书目 本书主要分为压电薄膜制备技术和薄膜压电器件制备技术两部分, 讲述了压电薄膜与压电微型器件制备技术, 内容包括: 压电薄膜基础理论, 压电薄膜制备技术与进展等。 | |
书籍简介
张涛所著的《压电薄膜材料与器件制备技术(材料科学与工程)》主要讲述了压电薄膜与压电微型器件制备技术,主要内容分为引言、上篇、下篇和后记。在引言部分,对全书内容做了总体介绍。在上篇中,介绍了薄膜材料基础知识和基本制备方法,对当前国内压电薄膜的研究进展做了简单陈述,主要阐述高压电性PzT基三元系铁电薄膜PMnN—PZT的制备与表征。在下篇中,介绍了压电器件的分类和声学器件的基础知识与进展,主要阐述了薄膜体声波谐振器(FBAR)的理论仿真、模拟与性能优化方法。在后记部分,对全书内容进行了总结。
《压电薄膜材料与器件制备技术(材料科学与工程)》可作为声学、材料学、微电子学等相关专业研究生的教学参考用书,也可供声学、压电学、薄膜材料和微型机电器件研究领域的科研工作人员参考。











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