| 名称 | MEMS Materials and Processes Handbook [electronic resource] | |
| 索引号 | ||
| 分类号 | (| 08 环境公报) |
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| 作者 | Ghodssi、 Reza.、Lin、 Pinyen.、SpringerLink (Online service)、 | |
| 出版社 | Boston, MA : Springer US : Imprint: Springer, 2011. | |
| ISBN | ||
| 页数 | XXXVI, 1188p. 200 illus.. In 2 volumes, not available separately. digital. | |
| 价格 | doi | |
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| 简介 | ||
| 注解 | ||
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