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名称 Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique [electronic resource] : A Manual of Wet-Etched Silicon Structures
索引号
分类号
(| 08 环境公报)
作者 Fr眉hauf、 Joachim.、SpringerLink (Online service)、
出版社 Berlin, Heidelberg : Springer Berlin Heidelberg, 2005.
ISBN
页数 XII, 221 p. 165 illus. digital.
价格 doi
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