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名称 Fast Simulation of Electro-Thermal MEMS [electronic resource] : Efficient Dynamic Compact Models
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(| 08 环境公报)
作者 Bechtold、 Tamara.、Rudnyi、 Evgenii B.、Korvink、 Jan G.、SpringerLink (Online service)、
出版社 Berlin, Heidelberg : Springer Berlin Heidelberg, 2007.
ISBN
页数 XI, 180 p. 108 illus., 8 in color. digital.
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