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名称 Rare-Earth Implanted MOS Devices for Silicon Photonics [electronic resource] : Microstructural, Electrical and Optoelectronic Properties
索引号
分类号
(| 08 环境公报)
作者 Rebohle、 Lars.、Skorupa、 Wolfgang.、SpringerLink (Online service)、
出版社 Berlin, Heidelberg : Springer Berlin Heidelberg, 2010.
ISBN
页数 XVIII, 174 p. digital.
价格 doi
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简介
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