| 名称 | 微細加工 | |
| 索引号 | TN3/J903 | |
| 分类号 | TN3 TN3(半导体技术) TN(无线电电子学、电信技术) T(工业技术) |
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| 作者 | 半導体研究振興会、 | |
| 出版社 | 東京 : 工業調査会, 1977.12 | |
| ISBN | 9800円 | |
| 页数 | 9, 376p ; 27cm | |
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