大拱桥--暨南大学学生门户 » 图书馆 » 计量学 » 纳米尺度几何量和机械量测量技术
名称 纳米尺度几何量和机械量测量技术
索引号 TB9/20141
分类号 TB9
TB9(计量学)
TB(一般工业技术-工业技术)
T(工业技术)
作者 赵学增、王伟杰、
出版社 哈尔滨 : 哈尔滨工业大学出版社, 2012
ISBN 978-7-5603-3864-4
页数 284页 : 图 ; 26cm
价格 CNY68.00
标签
简介
注解 国家出版基金项目 国家出版基金资助项目“十二五”国家重点图书 有书目和索引 本书共分4章。包括纳米尺度线宽（CD）测量，纳米尺度边缘粗糙度（LER）测量，纳米尺度线高测量，纳米尺度节距、一维栅和二维栅测量，纳米尺度微力、杨氏模量和刚度测量，微纳尺度固液界面边界条件测量，结论。