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名称 微机电系统
索引号 TM38-39/1
分类号 TM38-39
TM38(微电机)
TM3(电机)
TM(电子技术)
T(工业技术)
作者 梅涛、伍小平、
出版社 北京：化学工业出版社，2003
ISBN 7-5025-4320-1
页数 197页
价格 CNY15.00
标签 机电系统、微电机、普及读物、
简介 高新技术科普丛书
注解 本书共分7章，分别介绍了微机械加工技术、微机电系统的力学问题、微传感器、微执行器等。