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名称 | 半导体器件:物理与工艺 |
| 索引号 | TN305-43/2 | |
| 分类号 | TN305-43 TN305(半导体器件制造工艺及设备) TN30(一般性问题) TN3(半导体技术) TN(无线电电子学、电信技术) T(工业技术) |
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| 作者 | 施敏、赵鹤鸣、钱敏、 | |
| 出版社 | 苏州:苏州大学出版社,2002 | |
| ISBN | 7-81090-015-3 | |
| 页数 | 543页 | |
| 价格 | CNY55.00 | |
| 标签 | 半导体工艺、半导体物理学、高等学校教材、施敏、半导体器件物理、半导体、工艺、经典教材、器件、教材、微电子、 | |
| 简介 | ||
| 注解 | 本书主要介绍了现代半导体器件的物理原理、集成电路的工作原理及制作的工艺技术,全书共有三个部分、十四章,有十二个附录。 | |
书籍简介
《半导体器件物理与工艺》(第2版)分为三个部分:第1部分(第2、3章)描述半导体的基本特性和它的传导过程,尤其着重在硅和砷化镓两种最重要的丰导体材料上。第l部分的概念将在《半导体器件物理与工艺》(第2版)接下来的部分被用到,了解这些概念需要现代物理和微积分的基本知识。第2部分(第4-9章)讨论所有土要半导体器件的物理过程和特性。由对大部分半导体器件而言最关键的p-n结开始,接下来讨论双极型和场效应器件。最后讨论微波、量子效应、热电子和光电子器件。第3部分(第10-14章)则介绍从晶体生长到掺杂等工艺技术。我们介绍了制作器件时的各个主要步骤,包含理论和实际情况,并特别强调其在集成电路土的压用。











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