名称 微传感器与微执行器全书
索引号 TP212/11
分类号 TP212
TP212(发送器(变化器)、传感器)
TP21(自动化元件、部件)
TP2(自动化技术及设备)
TP(自动化技术计算技术技术)
T(工业技术)
作者 科瓦奇、Kovacs、张文栋、
出版社 北京:科学出版社,2003.03
ISBN 7-03-010565-6
页数 29,673页
价格 CNY78.00
标签 微型、微型传感器、mems、microsystem、我想读、自动化、
简介
注解 本书共分九章,涉及了MEMS技术的所有研究领域,畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理,并在此基础上对典型器件和系统的设计与工艺进行了详细的介绍。
书籍简介

微传感器与微执行器全书,ISBN:9787030105653,作者:(美)格雷戈里T. A.科瓦奇(Gregory T. A. Kovacs)著;张文栋等译