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名称 MEMS和微系统：设计与制造：design and manufacture
索引号 TH-39/1
分类号 TH-39
TH-39(机电一体化)
TH(机械、仪表工业)
T(工业技术)
作者 徐泰然、王晓浩、
出版社 北京：机械工业出版社，2004
ISBN 7-111-13226-2
页数 402页
价格 CNY38.00
标签 微电子技术、应用、mems、干一行爱一行、教科书、文献、机械、武功秘籍、绝世神功、
简介
注解
书籍简介

微系统近年来迅速发展，在航天、汽车、生物技术、消费产品、国防、环境保护和安全、保障、制药，以及远程通信工业等方面都有广泛的应用。本书对MEMS技术的基础进行了深入的观察，共分11章，介绍了微系统工程的发展，市场，产品，微系统所涉及的各工程学科的基础知识、尺度效应、微系统工程的材料、微制造和微加工工艺及微系统的设计和封装等内容。
本书可作为本科生或研究生课程的教材，还可以作为专业人士及相关人员了解MEMS参考书。