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名称 真空镀膜技术
索引号 TN305.8/20101
分类号 TN305.8
TN305.8(真空镀膜)
TN305(半导体器件制造工艺及设备)
TN30(一般性问题)
TN3(半导体技术)
TN(无线电电子学、电信技术)
T(工业技术)
作者 张以忱、
出版社 北京 : 冶金工业出版社, 2009
ISBN 978-7-5024-5020-5
页数 558页 : 图 ; 24cm
价格 CNY59.00
标签 张以忱、1、cxv、
简介
注解 有书目 (第554-558页) 本书共分10章，系统地阐述了真空镀膜技术的基本概念和基础理论、各种薄膜制备技术、设备及工艺、真空卷绕镀膜技术、ITO导电玻璃真空镀膜工艺，尤其重点介绍了一些近年来新出现的镀膜方法与技术，如反应磁控溅射镀膜技术、中频磁控溅射镀膜和非平衡磁控溅射镀膜技术等。
书籍简介

《真空镀膜技术》共分10章，系统地阐述了真空镀膜技术的基本慨念和基础理论、各种薄膜制备技术、设备及工艺、真空卷绕镀膜技术、ITO导电玻璃真空镀膜工艺，尤其重点介绍了一些近年来新出现的镀膜方法与技术，如反应磁控溅射镀膜技术、中频磁控溅射镀膜和非平衡磁控溅射镀膜技术等；还详细介绍了薄膜沉积及膜厚的监控与测量以及表面与薄膜分析检测技术等方面的内容。
《真空镀膜技术》具有很强的实用性，适合于真空镀膜行业、薄膜与表面应用、材料工程、应用物理以及与真空镀膜技术有关的行业从事研究、设计、设备生产操作与维护的技术人员，也适用与真空镀膜技术相关的实验研究人员和学生，还可用作大专院校相关专业师生的教材及参考书。

书籍目录

1 薄膜与表面技术基础理论2 真空蒸发镀膜3 真空溅射镀膜4 真空离子镀膜5 真空卷绕镀膜6 化学气相沉积CVD技术7 离子注入与离子辅助沉积技术8 ITO导电玻璃镀膜工艺9 薄膜工的测量与监控10 表面与薄膜分析检测技术参考文献