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名称 半导体材料测试与分析
索引号 TN304.07/20101
分类号 TN304.07
TN304.07(参数测试与检验)
TN304.0(一般性问题)
TN304(材料)
TN30(一般性问题)
TN3(半导体技术)
TN(无线电电子学、电信技术)
T(工业技术)
作者 杨德仁、
出版社 北京 : 科学出版社, 2010
ISBN 978-7-03-027036-8
页数 381页 : 图 ; 25cm
价格 精装
标签 半导体分析、物理、
简介
注解 有书目 本书主要描述半导体材料的主要测试分析技术，介绍各种测试技术的基本原理、仪器结构、样品制备和分析实例，主要包括载流子浓度(电阻率)、少数载流子寿命、发光等性能以及杂质和缺陷的测试，其测试分析技术涉及到四探针电阻率测试、无接触电阻率测试、扩展电阻、微波光电导衰减测试、霍尔效应测试、红外光谱测试、深能级瞬态谱测试、正电子湮灭测试、荧光光谱测试、电子束诱生电流测试、I-V和C-V等。
书籍简介

《半导体材料测试与分析》主要介绍半导体材料的各种测试分析技术，涉及测试技术的基本原理、仪器结构、样品制备和应用实例等内容：包括四探针电阻率、无接触电阻率、扩展电阻、微波光电导衰减、霍尔效应、红外光谱、深能级瞬态谱、正电子湮没、荧光光谱、紫外-可见吸收光谱、电子束诱生电流、I-V和C-V等测试分析技术。半导体材料是微电子、光电子和太阳能等工业的基石，而其电学性能、光学性能和机械性能将会影响半导体器件的性能和质量，因此，半导体材料性能和结构的测试和分析，是半导体材料研究和开发的重要方面。
《半导体材料测试与分析》可供大专院校的半导体物理、材料与器件、材料科学与工程和太阳能光伏等专业的高年级学生、研究生和教师作教学用书或参考书，也可供从事相关研究和开发的科技工作者和企业工程师参考。

书籍目录

前言第1章 电阻率测试第2章 扩展电阻测试第3章 少数载流子寿命测试第4章 少数载流子扩散长度测试第5章 霍尔效应测试第6章 红外光谱测试第7章 深能级瞬态谱测试第8章 正电子湮没谱测试第9章 光致荧光谱测试第10章 紫外-可见吸收光谱测试第11章 电子束诱生电流测试第12章 I-V和C-V测试