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微纳加工中的精密工件台技术

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索取号:TN470.598/20051
作者:刘俊标、薛虹、顾文琪、
出版社:北京 : 北京工业大学出版社, 2004

电子束曝光微纳加工技术

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索取号:TN305.7/20051
作者:顾文琪、王理明、
出版社:北京 : 北京工业大学出版社, 2004