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名称 MEMS/MOEMS封装技术 : 概念、设计、材料及工艺 : Concepts, Designs, Materials, and Processes
索引号 TN405.94/20091
分类号 TN405.94
TN405(制造工艺)
TN40(一般性问题)
TN4(微电子学、集成电路(IC))
TN(无线电电子学、电信技术)
T(工业技术)
作者 吉列奥、中国电子学会电子封装专委会、电子封装技术丛书编辑委员会、
出版社 北京 : 化学工业出版社, 2008
ISBN 978-7-122-01518-1
页数 236页 : 图 ; 26cm
价格 精装
标签 半导体、封装、
简介
注解 本书主要介绍了MEMS/MOEMS封装技术的最新进展,以及工艺的共性、个性和可靠性。针对高成本的封装,本书也给出了全面的解决方案,内容全面、系统、新颖。 本书不仅适用于从事封装工作的研究人员,也有助于MEMS从业人员解决封装的关键问题,同时也对MEMS工作者了解封装知识具有很大的参考价值本书也可作为高校电子封装专业和MEMS专业本科高年级学生及研究生教材
书籍简介

《MEMS/MOEMS封装技术:概念、设计、材料及工艺》是国际上较系统全面阐述MEMS/MOEMS封装的著作,作者是微电子封装界的知名专家、美国表面组装协会的董事。《MEMS/MOEMS封装技术:概念、设计、材料及工艺》主要介绍MEMS/MOEMS封装技术的最新进展,以及工艺的共性、个性和可靠性。针对高成本的封装,《MEMS/MOEMS封装技术:概念、设计、材料及工艺》给出了全面的解决方案,内容全面、系统、新颖。
微电子机械系统(MEMS)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。它具有微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产等特点。微光电子机械系统(MOEMS)是一种将MEMS技术引进到光电子中的新应用。近几年,MEMS/MOEMS技术的迅速发展使其在汽车、医疗、通信及其他消费类电子产品中获得了广泛的应用。但影响MEMS/MOEMS技术飞速发展的关键,就是封装技术。