| 名称 | Electron-beam technology in microelectronic fabrication | |
| 索引号 | TN405.7/E902 | |
| 分类号 | TN405.7 TN405(制造工艺) TN40(一般性问题) TN4(微电子学、集成电路（IC）) TN(无线电电子学、电信技术) T(工业技术) |
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| 作者 | ||
| 出版社 | New York : Academic Press, 1980. | |
| ISBN | ||
| 页数 | xi, 362 p. : ill. ; 24 cm. | |
| 价格 | ||
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| 简介 | ||
| 注解 | ||
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