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名称 | 纳米压印技术 |
| 索引号 | TN405.7/20122 | |
| 分类号 | TN405.7 TN405(制造工艺) TN40(一般性问题) TN4(微电子学、集成电路(IC)) TN(无线电电子学、电信技术) T(工业技术) |
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| 作者 | 周伟民、 | |
| 出版社 | 北京 : 科学出版社, 2012 | |
| ISBN | 978-7-03-032559-4 | |
| 页数 | 255页 : 图 ; 25cm | |
| 价格 | 精装 | |
| 标签 | ||
| 简介 | ||
| 注解 | 有书目 本书首先简单介绍了纳米压印技术的研究现状;然后系统介绍了压印模板的制备和处理、压印用光刻胶、压印工艺和刻蚀工艺等,并着重阐述了纳米压印加工制造技术;此外,还介绍了纳米压印技术在半导体光电器件、半导体存储器件、生物技术和生命科学等领域的最新应用。 | |
书籍简介
《纳米压印技术》内容简介:近年来,纳米压印技术迅猛发展,已引起业界广泛关注。《纳米压印技术》结合作者所在单位——纳米加工技术实验室的研究工作,基于近年来纳米压印的研究成果编写而成。纳米压印技术包括压印图形转移和后续的刻蚀结构转移过程。《纳米压印技术》首先简单介绍了纳米压印技术的研究现状;然后系统介绍了压印模板的制备和处理、压印用光刻胶、压印工艺和刻蚀工艺等,并着重阐述了纳米压印加工制造技术;此外,还介绍了纳米压印技术在半导体光电器件、半导体存储器件、生物技术和生命科学等领域的最新应用。
《纳米压印技术》可供微纳加工、电子器件、生物芯片等领域的科研人员及工程技术人员参考,也可作为高等院校相关专业研究生和高年级本科生的教材或参考书。











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