名称 纳米压印技术
索引号 TN405.7/20122
分类号 TN405.7
TN405(制造工艺)
TN40(一般性问题)
TN4(微电子学、集成电路(IC))
TN(无线电电子学、电信技术)
T(工业技术)
作者 周伟民、
出版社 北京 : 科学出版社, 2012
ISBN 978-7-03-032559-4
页数 255页 : 图 ; 25cm
价格 精装
标签
简介
注解 有书目 本书首先简单介绍了纳米压印技术的研究现状;然后系统介绍了压印模板的制备和处理、压印用光刻胶、压印工艺和刻蚀工艺等,并着重阐述了纳米压印加工制造技术;此外,还介绍了纳米压印技术在半导体光电器件、半导体存储器件、生物技术和生命科学等领域的最新应用。
书籍简介

《纳米压印技术》内容简介:近年来,纳米压印技术迅猛发展,已引起业界广泛关注。《纳米压印技术》结合作者所在单位——纳米加工技术实验室的研究工作,基于近年来纳米压印的研究成果编写而成。纳米压印技术包括压印图形转移和后续的刻蚀结构转移过程。《纳米压印技术》首先简单介绍了纳米压印技术的研究现状;然后系统介绍了压印模板的制备和处理、压印用光刻胶、压印工艺和刻蚀工艺等,并着重阐述了纳米压印加工制造技术;此外,还介绍了纳米压印技术在半导体光电器件、半导体存储器件、生物技术和生命科学等领域的最新应用。
《纳米压印技术》可供微纳加工、电子器件、生物芯片等领域的科研人员及工程技术人员参考,也可作为高等院校相关专业研究生和高年级本科生的教材或参考书。