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名称 纳米集成电路制造工艺
索引号 TN405/20142
分类号 TN405
TN405(制造工艺)
TN40(一般性问题)
TN4(微电子学、集成电路（IC）)
TN(无线电电子学、电信技术)
T(工业技术)
作者 张汝京、
出版社 北京 : 清华大学出版社, 2014
ISBN 978-7-302-36027-8
页数 XIII, 433页 : 图 ; 26cm
价格 CNY69.00
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简介
注解 有书目 (第433页) 本书介绍纳米集成电路的制造工艺, 共分19章。内容涉及集成电路制造工艺的方方面面, 很多内容是作者在工作过程中积累整理的。对于相关领域的从业人员, 有一定的参考价值。